Flísafraksturinn í flísarframleiðsluiðnaðinum er nátengdur stærð og fjölda loft agna sem settar eru á flís. Góð samtök loftstreymis geta tekið agnir sem myndast úr rykheimildum í burtu frá hreinu herbergi og tryggt hreinleika hreinshússins. Það er að segja að loftflæðisskipulagið í Cleanroom gegnir mikilvægu hlutverki í ávöxtunarkröfu flísframleiðslu. Markmiðin sem á að ná við hönnun á skipulagi loftstreymis í hreinu herbergi eru: að draga úr eða útrýma hvirfilstraumum í rennslisviði til að forðast varðveislu skaðlegra agna; Til að viðhalda viðeigandi jákvæðum þrýstingi til að koma í veg fyrir krossmengun.
Samkvæmt meginreglunni um hreina herbergið eru sveitirnar sem starfa á agnum með massaafli, sameindaafli, aðdráttarafl milli agna, loftstreymisafls osfrv.
Loftstreymiskraftur: vísar til krafts loftstreymis af völdum framboðs og endurkomu loftstreymis, hitauppstreymis loftstreymis, gervi óróleika og annað loftstreymi með ákveðnum rennslishraða til að bera agnir. Til að stjórna umhverfistækni í umhverfistækni er loftflæðiskraftur mikilvægasti þátturinn.
Tilraunir hafa sýnt að í loftstreymishreyfingu fylgja agnir loftstreymið á næstum nákvæmlega sama hraða. Ástand agna í lofti ræðst af dreifingu loftstreymis. Helstu áhrif loftstreymis á agnir innanhúss fela í sér: loftflæði loftstreymis (þar með talið aðal loftstreymi og aukið loftstreymi), loftstreymi og hitauppstreymi loftstreymi af völdum fólks sem gengur og áhrif loftstreymis á agnir af völdum ferla og iðnaðarbúnaðar. Mismunandi loftframboðsaðferðir, hraðviðmót, rekstraraðilar og iðnaðarbúnaður, framkallað fyrirbæri osfrv. Í hreinsiherbergjum eru allir þættir sem hafa áhrif á hreinleika.
1. áhrif loftframboðsaðferðar
(1) Flughraði
Til að tryggja jafnt loftflæði verður loftframboðshraði í einátta flæðinu að hreinsa herbergið; Dauð svæði á yfirborði loftframboðsins verður að vera lítið; og þrýstingsfallið innan HEPA síu verður einnig að vera einsleitt.
Loftframboðshraði er einsleitur: það er að segja að ójöfnur loftflæðisins er stjórnað innan ± 20%.
Það er minna dautt pláss á yfirborði loftframboðsins: ekki aðeins ætti planasvæðið á HEPA ramma að draga úr, heldur mikilvægara, ætti að nota mát FFU til að einfalda óþarfi ramma.
Til að tryggja að loftflæðið sé lóðrétt og einátta er val á þrýstingsfallinu einnig mjög mikilvægt og þess er krafist að þrýstistapi innan síunnar sé ekki hægt að hlutdræg.
(2) Samanburður á milli FFU kerfis og axial flæðisviftukerfis
FFU er loftframboðseining með aðdáandi og HEPA síu. Loftið er sogað inn af miðflóttaviftu FFU og breytir kraftmiklum þrýstingi í kyrrstæðan þrýsting í loftrásinni. Það er blásið jafnt af HEPA síu. Þrýstingur loftframboðs á loftinu er neikvæður þrýstingur. Þannig lekur ekkert ryk inn í hreint herbergi þegar sía er skipt út. Tilraunir hafa sýnt að FFU kerfið er betri en axial flæði viftukerfisins hvað varðar einsleitni lofts, loftstreymis og loftræstikerfisvísitölu. Þetta er vegna þess að loftflæði samsíða FFU kerfisins er betri. Notkun FFU kerfisins getur bætt loftflæðisskipulagið í hreinu herbergi.
(3) Áhrif eigin uppbyggingar FFU
FFU samanstendur aðallega af aðdáendum, síum, loftstreymisleiðbeiningum og öðrum íhlutum. HEPA sían er mikilvægasta ábyrgðin fyrir hreint herbergi til að ná fram nauðsynlegri hreinleika sem krafist er af hönnun. Efni síunnar mun einnig hafa áhrif á einsleitni flæðisreitsins. Þegar gróft síuefni eða rennslisplata er bætt við síuinnstunguna er auðvelt að gera rennslisreitinn einsleitan.
2. Áhrif hraðviðmóts með mismunandi hreinleika
Í sama hreinu herbergi, milli vinnusvæðisins og svæðisins sem ekki er unnið með lóðréttu eininga flæði, vegna mismunur á lofthraða við HEPA kassann, mun blandað hvirfiláhrif eiga sér stað við viðmótið og þetta viðmót verður órólegur Loftflæðissvæði. Styrkur ólgu í loftinu er sérstaklega sterkur og agnir geta verið sendir á yfirborð búnaðarvélarinnar og mengað búnaðinn og skífur.
3. áhrif á starfsfólk og búnað
Þegar hreint herbergi er tómt uppfylla einkenni loftstreymis í herberginu yfirleitt hönnunarkröfur. Þegar búnaður fer inn í hreinsunina, hreyfist fólk og vörur eru fluttar eru óhjákvæmilega hindranir fyrir loftflæðissamtökin, svo sem skarpar punktar sem stingur út úr búnaðarvélinni. Við hornin eða brúnirnar mun gasið flytja til að mynda ólganlegt rennslissvæði og vökvinn á svæðinu verður ekki auðveldlega fluttur af komandi gasi og veldur þannig mengun.
Á sama tíma verður yfirborð vélrænna búnaðar hitað vegna stöðugrar notkunar og hitastigsstigið mun valda endurflæðissvæði nálægt vélinni, sem eykur uppsöfnun agna á endurflæðissvæði. Á sama tíma mun háhitinn auðveldlega valda því að agnirnar komast undan. Tvöföld áhrif efla lóðrétta lagið í heild. Erfiðleikarnir við að stjórna hreinleika í straumi. Ryk frá rekstraraðilum í hreinu herbergi getur auðveldlega fest sig við skífur á þessum endurskinssvæði.
4. Áhrif aftur loftgólfs
Þegar viðnám endurkomu loftsins sem liggur í gegnum gólfið er mismunandi, mun þrýstingsmunurinn eiga sér stað, sem veldur því að loft rennur í átt að litlum viðnám og jafnt loftflæði verður ekki fengið. Núverandi vinsæl hönnunaraðferð er að nota upphækkað gólf. Þegar opnunarhlutfall hækkaðs gólfs er 10%er hægt að dreifa loftstreymishraða jafnt á vinnuhæð innanhúss. Að auki ætti að huga að ströngum gaum að hreinsunarvinnu til að draga úr mengun á gólfinu.
5. Innleiðslufyrirbæri
Hið svokallaða örvunarfyrirbæri vísar til fyrirbæri við að mynda loftstreymi í gagnstæða átt við samræmdu flæðið, sem örvar ryk sem myndast í herbergi eða ryki á aðliggjandi menguðum svæðum að vindi hlið og veldur því að rykið mengar skífuna. Hugsanleg framkölluð fyrirbæri fela í sér eftirfarandi:
(1) Blindur plata
Í hreinu herbergi með lóðréttu einstefnu, vegna liðanna á veggnum, eru yfirleitt stór blind spjöld sem munu framleiða ólgusöm flæði og staðbundið afturflæði.
(2) lampar
Lýsingarbúnað í hreinu herbergi mun hafa meiri áhrif. Þar sem hiti flúrperunnar veldur því að loftstreymið hækkar, verður flúrperan ekki órólegt svæði. Almennt eru lamparnir í hreinu herberginu hannaðir í táragangsformi til að draga úr áhrifum lampanna á loftflæðisskipulag.
(3) Bil milli veggja
Þegar það eru eyður milli skiptingarveggja eða lofts með mismunandi kröfur um hreinleika, er hægt að flytja ryk frá svæðum með litlum hreinleika kröfum til aðliggjandi svæða með miklum hreinleikakröfum.
(4) Fjarlægðin milli vélrænna búnaðar og gólfs eða veggs
Ef bilið á milli vélrænna búnaðar og gólfs eða veggs er lítið, mun óróa fráköst eiga sér stað. Láttu þess vegna skarð milli búnaðarins og veggsins og hækkaðu vélarvettvanginn til að forðast beina snertingu við jörðu.
Pósttími: Nóv-02-2023