Flísafraksturshlutfallið í IC framleiðsluiðnaðinum er nátengt stærð og fjölda loft agna sem settar eru á flísina. Góð loftstreymissamtök geta tekið agnirnar sem myndast við rykgjafann frá hreinu herberginu til að tryggja hreinleika hreina herbergisins, það er að segja að loftflæðisskipulagið í hreinu herbergi gegni mikilvægu hlutverki í ávöxtunarhraða IC framleiðslu. Hönnun loftflæðisskipulagsins í hreinu herbergi þarf að ná eftirfarandi markmiðum: Draga úr eða útrýma hvirfilstraumnum á rennslisreitnum til að forðast varðveislu skaðlegra agna; Haltu viðeigandi jákvæðum þrýstingi til að koma í veg fyrir krossmengun.
Loftflæðiafl
Samkvæmt meginreglunni um hreina herbergið eru sveitirnar sem starfa á agnirnar massaafli, sameindaafl, aðdráttarafl milli agna, loftstreymisafls osfrv.
Loftstreymisafl: vísar til krafts loftstreymisins af völdum afhendingar, skilar loftstreymi, hitauppstreymi loftstreymi, gervi hrærslu og öðru loftstreymi með ákveðnum rennslishraða til að bera agnirnar. Fyrir tæknilega stjórn á umhverfi í hreinu herbergi er loftflæðisafl mikilvægasti þátturinn.
Tilraunir hafa sýnt að í loftstreymishreyfingu fylgja agnirnar loftstreymishreyfinguna á næstum sama hraða. Ástand agna í loftinu ræðst af loftstreymisdreifingu. Loftstreymið sem hafa áhrif á agnir innanhúss fela aðallega í sér: loftflæði loftflæðis (þar með talið aðal loftstreymi og aukið loftstreymi), loftstreymi og hitauppstreymi loftstreymi af völdum fólks sem gengur og loftflæðið af völdum vinnslu og iðnaðarbúnaðar. Mismunandi loftframboðsaðferðir, hraðatengi, rekstraraðilar og iðnaðarbúnaður og framkallað fyrirbæri í hreinum herbergjum eru allir þættir sem hafa áhrif á hreinleika.
Þættir sem hafa áhrif á skipulag loftflæðis
1.. Áhrif loftframboðsaðferðar
(1). Flugframboðshraði
Til að tryggja samræmt loftstreymi verður loftframboðshraði að vera einsleitur í einátta hreinu herbergi; Dauð svæði loftframboðs yfirborðsins verður að vera lítið; og þrýstingsfallið í ULPA verður einnig að vera einsleitt.
Samræmdur loftframboðshraði: Það er að segja að ójöfnur loftstreymisins er stjórnað innan ± 20%.
Minna dautt svæði á yfirborði loftframboðsins: Ekki aðeins ætti planasvæðið á ULPA ramma að draga úr, heldur mikilvægara er að nota má FFU til að einfalda óþarfi ramma.
Til að tryggja lóðrétta einátta loftstreymi er þrýstingslækkunarval síunnar einnig mjög mikilvægt, sem krefst þess að þrýstisstap í síunni geti ekki vikið frá sér.
(2). Samanburður á milli FFU kerfisins og axial flæðisviftukerfisins
FFU er loftframboðseining með viftu og síu (ULPA). Eftir að loftið er sogað inn af miðflóttaviftu FFU er kraftmiklum þrýstingi breytt í kyrrstæða þrýsting í loftrás og blásið út jafnt af ULPA. Þrýstingur loftframboðs á loftinu er neikvæður þrýstingur, þannig að ekkert ryk lekur inn í hreina herbergið þegar skipt er um síuna. Tilraunir hafa sýnt að FFU kerfið er betri en axial flæði viftukerfisins hvað varðar einsleitni loftsútstreymis, samsíða loftstreymis og loftræstingarvísitölu. Þetta er vegna þess að loftstreymi samsíða FFU kerfisins er betri. Notkun FFU kerfisins getur gert loftstreymið í hreinu herberginu betur skipulagt.
(3). Áhrif eigin uppbyggingar FFU
FFU er aðallega skipað aðdáendum, síum, loftstreymisbúnaði og öðrum íhlutum. Mjög háhagkvæmni sía ULPA er mikilvægasta ábyrgðin fyrir hvort hreina herbergið geti náð nauðsynlegum hreinleika hönnunarinnar. Efni síunnar mun einnig hafa áhrif á einsleitni flæðisreitsins. Þegar gróft síuefni eða laminar rennslisplata er bætt við síuinnstunguna er auðvelt að búa til útrásarreitinn einsleitan.
2. Áhrif mismunandi hraðaviðmóta hreinleika
Í sama hreinu herbergi, milli vinnusvæðisins og svæðisins sem ekki er unnið með lóðréttu eininga flæði, vegna mismunur á lofthraða við ULPA útrásina, verður blandað hringáhrif mynduð við viðmótið og þetta viðmót verður órólegur Loftstreymissvæði með sérstaklega mikilli óróleika í lofti. Agnir geta verið sendar á yfirborð búnaðarins og mengað búnaðinn og skífur.
3. áhrif starfsfólks og búnaðar
Þegar hreina herbergið er tómt uppfylla einkenni loftstreymisins í herberginu yfirleitt hönnunarkröfur. Þegar búnaðurinn fer inn í hreina herbergið, starfsmannaflutning og vörur eru sendar, verða óhjákvæmilega hindranir fyrir flugflæðissamtökin. Til dæmis, við útstæðu horn eða brún búnaðarins, verður gasinu flutt til að mynda ólgusjó og vökvinn á svæðinu er ekki auðveldlega fluttur með gasinu og veldur þannig mengun. Á sama tíma hitnar yfirborð búnaðarins vegna stöðugrar notkunar og hitastigsstigið mun valda endurflæðissvæði nálægt vélinni, sem mun auka uppsöfnun agna á endurflæðingarsvæðinu. Á sama tíma mun háhitinn auðveldlega valda því að agnirnar komast undan. Tvíþætta áhrifin auka erfiðleikana við að stjórna heildar lóðréttu lagskiptum. Mjög auðvelt er að festa rykið frá rekstraraðilum í hreinu herberginu við skífurnar á þessum afturvirkjasvæðum.
4. Áhrif aftur loftgólfs
Þegar viðnám aftur lofts sem liggur í gegnum gólfið er mismunandi verður þrýstingsmunur myndaður, þannig að loftið mun renna í átt að minni viðnám og samræmt loftstreymi verður ekki fengið. Núverandi vinsæl hönnunaraðferð er að nota hækkuð gólf. Þegar opnunarhraði hækkaðra gólfs er 10%er hægt að dreifa loftstreymishraða í vinnuhæð herbergisins. Að auki ætti að huga að ströngum gaum að hreinsunarvinnu til að draga úr mengunaruppsprettu gólfsins.
5. Innleiðslufyrirbæri
Hið svokallaða örvunarfyrirbæri vísar til fyrirbærisins að loftstreymið í gagnstæða átt að samræmdu rennslinu myndast og rykið sem myndast í herberginu eða ryk getur mengað flísina. Eftirfarandi eru möguleg örvunarfyrirbæri:
(1). Blindur plata
Í hreinu herbergi með lóðréttu eininga flæði, vegna liðanna á veggnum, eru yfirleitt stórar blindar plötur sem munu skapa ókyrrð í staðbundnu afturflæði.
(2). Lampar
Lýsingarinnréttingar í hreinu herberginu munu hafa meiri áhrif. Þar sem hitinn á flúrperum lampar veldur því að loftstreymið mun hækka verður ekkert ókyrrð svæði undir flúrperum. Almennt eru lamparnir í hreinu herberginu hannaðir í táragangsformi til að draga úr áhrifum lampanna á loftflæðasamtökin.
(3.) Bil milli veggja
Þegar það eru eyður milli skipting með mismunandi hreinleika stigum eða milli skipting og loft, er hægt að flytja ryk frá svæðinu með litlum hreinleikakröfum yfir á aðliggjandi svæði með miklum hreinleika kröfum.
(4). Fjarlægð milli vélarinnar og gólfsins eða veggsins
Ef bilið milli vélarinnar og gólfsins eða veggsins er mjög lítið mun það valda óróa fráköstum. Láttu þess vegna skarð milli búnaðarins og veggsins og lyftu vélinni til að forðast að láta vélina snerta jörðina beint.
Post Time: Feb-05-2025