Afköst örgjörva í framleiðslu á örgjörvum eru nátengd stærð og fjölda loftagna sem setjast á örgjörvann. Gott loftflæðisskipulag getur fjarlægt agnir sem myndast við rykuppsprettu frá hreinrýminu til að tryggja hreinleika hreinrýmisins, það er að segja, loftflæðisskipulag í hreinrými gegnir mikilvægu hlutverki í afköstum framleiðslu örgjörva. Hönnun loftflæðisskipulagsins í hreinrými þarf að ná eftirfarandi markmiðum: draga úr eða útrýma hvirfilstraumum í flæðisviðinu til að forðast að skaðlegar agnir safnist fyrir; viðhalda viðeigandi jákvæðum þrýstingshalla til að koma í veg fyrir krossmengun.
Loftflæðiskraftur
Samkvæmt hreinherbergjareglunni eru kraftarnir sem verka á agnirnar meðal annars massakraftur, sameindakraftur, aðdráttarafl milli agna, loftstreymiskraftur o.s.frv.
Loftflæðiskraftur: vísar til krafts loftstreymisins sem orsakast af innstreymi, bakstreymi, varmaflutningi, gervihræringu og öðrum loftstreymum með ákveðnum flæðishraða til að bera agnirnar. Fyrir tæknilega stjórnun á hreinum rýmum er loftflæðiskrafturinn mikilvægasti þátturinn.
Tilraunir hafa sýnt að í loftstreymishreyfingum fylgja agnirnar loftstreymishreyfingunni á næstum sama hraða. Ástand agnanna í loftinu er ákvarðað af dreifingu loftstreymisins. Loftstreymi sem hafa aðallega áhrif á agnir innandyra eru: loftstreymi (þar með talið aðalloftstreymi og aukaloftstreymi), loftstreymi og varmaflutningsloftstreymi af völdum fólks sem gengur og loftstreymi af völdum ferla og iðnaðarbúnaðar. Mismunandi loftstreymisaðferðir, hraðaviðmót, rekstraraðilar og iðnaðarbúnaður og framkölluð fyrirbæri í hreinum rýmum eru allt þættir sem hafa áhrif á hreinleikastig.
Þættir sem hafa áhrif á skipulag loftflæðis
1. Áhrif loftinnblástursaðferðar
(1). Loftflæðishraði
Til að tryggja jafnt loftflæði verður hraði loftinnstreymisins að vera jafn í einátta hreinu herbergi; dauðasvæðið á loftinnstreymisfletinum verður að vera lítið; og þrýstingsfallið í ULPA verður einnig að vera jafnt.
Jafn loftflæðishraði: það er að segja, ójöfnu loftflæðisins er stjórnað innan ±20%.
Minna dauður svæði á loftflötsyfirborði: ekki aðeins ætti að minnka flatarmál ULPA-rammans, heldur ætti, enn mikilvægara, að nota mátbundna FFU til að einfalda umframrammann.
Til að tryggja lóðrétta einátta loftflæði er val á þrýstingsfalli síunnar einnig mjög mikilvægt, þar sem þrýstingstapið í síunni má ekki víkja frá öðru.
(2). Samanburður á FFU kerfi og ásflæðisviftukerfi
FFU er loftinntakseining með viftu og síu (ULPA). Eftir að loftið hefur verið sogað inn af miðflóttaviftu FFU er kraftþrýstingurinn breytt í stöðugan þrýsting í loftrásinni og blásið jafnt út af ULPA. Loftþrýstingurinn í loftinu er undirþrýstingur, þannig að ekkert ryk lekur inn í hreina rýmið þegar sían er skipt út. Tilraunir hafa sýnt að FFU kerfið er betra en ásflæðisviftukerfi hvað varðar einsleitni loftúttaks, samsíða loftstreymi og skilvirkni loftræstingar. Þetta er vegna þess að samsíða loftstreymi FFU kerfisins er betra. Notkun FFU kerfisins getur gert loftstreymið í hreina rýminu skipulagðara.
(3). Áhrif eigin uppbyggingar FFU
FFU samanstendur aðallega af viftum, síum, loftflæðisleiðara og öðrum íhlutum. ULPA sían með afar mikilli afköstum er mikilvægasta tryggingin fyrir því hvort hreint herbergi geti náð þeim hreinleika sem hönnunin krefst. Efni síunnar hefur einnig áhrif á einsleitni flæðissviðsins. Þegar gróft síuefni eða lagflæðisplata er bætt við úttak síunnar er auðvelt að gera úttaksflæðissviðið einsleitt.
2. Áhrif mismunandi hraðaviðmóta á hreinleika
Í sama hreina herberginu, á milli vinnusvæðisins og svæðisins þar sem lóðrétt einátta flæði er ekki til staðar, mun blandaður hvirfilbylur myndast við tengiflötinn vegna mismunar á lofthraða við úttak ULPA, og þessi tengiflötur verður að ókyrrðarsvæði með sérstaklega miklum loftókyrrðarstyrk. Agnir geta borist á yfirborð búnaðarins og mengað búnaðinn og skífurnar.
3. Áhrif starfsfólks og búnaðar
Þegar hreinrýmið er tómt uppfylla eiginleikar loftflæðisins í herberginu almennt hönnunarkröfur. Þegar búnaðurinn fer inn í hreinrýmið, starfsfólk færist á hreyfingu og vörur eru fluttar, verða óhjákvæmilega hindranir á skipulagi loftflæðisins. Til dæmis, við útstandandi horn eða brúnir búnaðarins, verður gasið beint til að mynda ókyrrðarsvæði, og vökvinn í svæðinu er ekki auðveldlega borinn burt af gasinu, sem veldur mengun. Á sama tíma mun yfirborð búnaðarins hitna vegna stöðugrar notkunar, og hitastigshalla mun valda endurflæðissvæði nálægt vélinni, sem mun auka uppsöfnun agna í endurflæðissvæðinu. Á sama tíma mun hár hiti auðveldlega valda því að agnirnar sleppi. Tvöföld áhrif auka erfiðleikana við að stjórna heildarhreinleika lóðréttrar lagskiptrar lögun. Ryk frá notendum í hreinrýminu er mjög auðvelt að festast við skífurnar í þessum endurflæðissvæðum.
4. Áhrif frárennslisloftsgólfs
Þegar viðnám bakloftsins sem fer í gegnum gólfið er mismunandi myndast þrýstingsmunur, þannig að loftið streymir í átt að minni viðnámi og jafnt loftflæði fæst ekki. Algengasta hönnunaraðferðin í dag er að nota upphækkað gólf. Þegar opnunarhraði upphækkaðra gólfa er 10% er hægt að dreifa loftflæðishraði jafnt í vinnuhæð herbergisins. Að auki skal gæta vel að þrifum til að draga úr mengunaruppsprettu gólfsins.
5. Aðleiðslufyrirbæri
Svokallað örvunarfyrirbæri vísar til þess fyrirbæris að loftstreymi myndast í gagnstæða átt miðað við jafnt flæði og ryk sem myndast í herberginu eða ryk á aðliggjandi menguðu svæði er örvað upp á vindhliðina, þannig að rykið getur mengað flísina. Eftirfarandi eru möguleg örvunarfyrirbæri:
(1). Blindplata
Í hreinu herbergi með lóðréttri einstefnu flæði eru, vegna samskeyta á veggnum, almennt stórar blindplötur sem munu valda ókyrrð í staðbundnu frárennslisflæði.
(2). Lampar
Lýsingin í hreinrýminu mun hafa meiri áhrif. Þar sem hiti flúrperanna veldur því að loftflæðið hækkar, verður ekkert ókyrrðarsvæði undir flúrperunum. Almennt eru perurnar í hreinrýminu hannaðar í táradropaformi til að draga úr áhrifum peranna á loftflæðisskipulagið.
(3.) Bil á milli veggja
Þegar bil eru á milli milliveggja með mismunandi hreinlætisstigi eða á milli milliveggja og lofta getur ryk frá svæði með lágar hreinlætiskröfur borist yfir á aðliggjandi svæði með miklar hreinlætiskröfur.
(4). Fjarlægð milli vélarinnar og gólfs eða veggs
Ef bilið á milli vélarinnar og gólfsins eða veggsins er mjög lítið, veldur það ókyrrð í bakslagi. Þess vegna skal skilja eftir bil á milli búnaðarins og veggsins og lyfta vélinni upp til að koma í veg fyrir að hún snerti jörðina beint.
Birtingartími: 5. febrúar 2025