Umhverfisvernd er veitt meiri og meiri athygli, sérstaklega með því að auka veðurveður. Hreina herbergisverkfræði er ein af umhverfisverndarráðstöfunum. Hvernig á að nota hreina herbergisverkfræði til að vinna gott starf í umhverfisvernd? Við skulum tala um stjórnina í hreinu herbergisverkfræði.
Hitastig og rakastig í hreinu herbergi
Hitastig og rakastig hreinra rýma eru aðallega ákvörðuð út frá kröfum um ferli, en þegar þeir uppfylla kröfur um ferli ætti að taka tillit til þæginda manna. Með því að bæta kröfur um hreinleika í loftinu er þróun strangari krafna um hitastig og rakastig í vinnslu.
Almenna meginregla, vegna vaxandi nákvæmni vinnslu, eru kröfur um hitastigssveiflur að verða minni og minni. Til dæmis, í lithography og váhrifum við stórfellda samþætta hringrásarframleiðslu, verður mismunur á hitauppstreymisstuðul milli glers og kísilþurrkanna sem notaðir eru sem grímuefni sífellt lítill.
Kísilþurrk með þvermál 100 μ m veldur línulegri stækkun 0,24 μ m þegar hitastigið hækkar um 1 gráðu. Þess vegna er stöðugur hitastig ± 0,1 ℃ nauðsynlegur og rakastigið er yfirleitt lágt vegna þess að eftir svita verður varan menguð, sérstaklega á hálfleiðara vinnustofum sem eru hræddir við natríum. Þessi tegund verkstæði ætti ekki að fara yfir 25 ℃.
Óhóflegur rakastig veldur fleiri vandamálum. Þegar rakastigið fer yfir 55%myndast þétting á kælivatnsrörveggnum. Ef það kemur fram í nákvæmni tækjum eða hringrásum getur það valdið ýmsum slysum. Þegar rakastigið er 50%er auðvelt að ryðga það. Að auki, þegar rakastigið er of hátt, verður rykið sem festist á yfirborði kísilþaksins efnafræðilega aðsogað á yfirborðið í gegnum vatnsameindir í lofti, sem erfitt er að fjarlægja.
Því hærra sem rakastigið er, því erfiðara er að fjarlægja viðloðunina. Hins vegar, þegar rakastigið er undir 30%, eru agnir einnig auðveldlega aðsogaðar á yfirborðið vegna verkunar rafstöðueiginleika og mikill fjöldi hálfleiðara tæki er tilhneigingu til sundurliðunar. Besta hitastigssvið fyrir framleiðslu á kísilþurrku er 35-45%.
Loftþrýstingurstjórní hreinu herbergi
Fyrir flest hrein rými, til að koma í veg fyrir að ytri mengun innrásar innrás, er nauðsynlegt að viðhalda innri þrýstingi (truflanir) hærri en ytri þrýstingur (truflanir). Viðhald þrýstingsmunur ætti almennt að vera í samræmi við eftirfarandi meginreglur:
1.. Þrýstingurinn í hreinu rýmum ætti að vera hærri en í ekki hreinum rýmum.
2. Þrýstingur í rýmum með mikla hreinleika ætti að vera hærri en í aðliggjandi rýmum með litlum hreinleika.
3.
Viðhald þrýstingsmunur fer eftir magni fersks lofts, sem ætti að geta bætt loftleka úr bilinu undir þessum þrýstingsmismun. Þannig að líkamleg merking þrýstingsmunur er viðnám leka (eða síast) loftflæðis í gegnum ýmis eyður í hreinu herbergi.
Pósttími: júlí-21-2023