Umhverfisvernd er veitt sífellt meiri athygli, sérstaklega með vaxandi þokuveðri. Hreinherbergisverkfræði er ein af umhverfisverndarráðstöfunum. Hvernig á að nota hrein herbergisverkfræði til að gera gott starf í umhverfisvernd? Við skulum tala um stjórnun í hreinherbergisverkfræði.
Hita- og rakastjórnun í hreinu herbergi
Hitastig og rakastig hreinna rýma eru aðallega ákvörðuð út frá kröfum um ferli, en þegar farið er að kröfum um ferli skal taka tillit til þæginda manna. Með endurbótum á kröfum um hreinleika í lofti er stefna í strangari kröfur um hitastig og rakastig í ferlinu.
Sem almenn meginregla, vegna aukinnar nákvæmni vinnslu, verða kröfur um hitasveiflusvið sífellt minni. Til dæmis, í steinþrykk og útsetningarferli stórfelldrar samþættrar hringrásarframleiðslu, verður munurinn á varmaþenslustuðlinum á milli gler- og kísildiska sem notuð eru sem grímuefni sífellt minni.
Kísilskífa með 100 μm þvermál veldur línulegri stækkun upp á 0,24 μm þegar hitastigið hækkar um 1 gráðu. Þess vegna er stöðugt hitastig ± 0,1 ℃ nauðsynlegt og rakastigið er almennt lágt vegna þess að eftir svitamyndun verður varan menguð, sérstaklega í hálfleiðaraverkstæðum sem eru hræddir við natríum. Þessi tegund af verkstæði ætti ekki að fara yfir 25 ℃.
Of mikill raki veldur meiri vandamálum. Þegar hlutfallslegur raki fer yfir 55% myndast þétting á vegg kælivatnsrörsins. Ef það á sér stað í nákvæmnistækjum eða hringrásum getur það valdið ýmsum slysum. Þegar hlutfallslegur raki er 50% er auðvelt að ryðga. Að auki, þegar rakastigið er of hátt, mun rykið sem festist við yfirborð kísilskúffunnar aðsogast efnafræðilega á yfirborðið í gegnum vatnssameindir í lofti, sem erfitt er að fjarlægja.
Því hærra sem hlutfallslegur raki er, því erfiðara er að fjarlægja viðloðunina. Hins vegar, þegar hlutfallslegur raki er undir 30%, aðsogast agnir einnig auðveldlega á yfirborðið vegna virkni rafstöðuaflsins og mikill fjöldi hálfleiðaratækja er viðkvæmur fyrir niðurbroti. Ákjósanlegasta hitastigið fyrir framleiðslu sílikonskífu er 35-45%.
Loftþrýstingurstjórnaí hreinu herbergi
Fyrir flest hrein svæði, til að koma í veg fyrir að ytri mengun komist inn, er nauðsynlegt að halda innri þrýstingi (stöðuþrýstingi) hærri en ytri þrýstingi (stöðuþrýstingur). Viðhald á þrýstingsmun ætti almennt að vera í samræmi við eftirfarandi meginreglur:
1. Þrýstingur í hreinum rýmum ætti að vera hærri en í óhreinum rýmum.
2. Þrýstingur í rýmum með mikið hreinlæti ætti að vera hærri en í aðliggjandi rýmum með lágt hreinlæti.
3. Hurðir á milli hreinna herbergja ættu að vera opnaðar í átt að herbergjum með miklu hreinlæti.
Viðhald þrýstingsmunar fer eftir magni fersks lofts sem ætti að geta bætt upp loftleka úr bilinu undir þessum þrýstingsmun. Þannig að eðlisfræðileg merking þrýstingsmunarins er viðnám leka (eða íferðar) loftflæðis í gegnum ýmsar eyður í hreinu herbergi.
Birtingartími: 21. júlí 2023