Umhverfisvernd er sífellt meiri athygli veitt, sérstaklega með vaxandi mistri. Hreinrýmisverkfræði er ein af umhverfisverndaraðgerðunum. Hvernig er hægt að nota hreinrýmisverkfræði til að vernda umhverfið vel? Við skulum ræða stjórnun í hreinrýmisverkfræði.
Hitastigs- og rakastigsstýring í hreinu herbergi
Hitastig og rakastig í hreinum rýmum eru aðallega ákvörðuð út frá kröfum um ferli, en þegar farið er að kröfum um ferli ætti að taka tillit til þæginda manna. Með bættum kröfum um lofthreinleika er þróun í átt að strangari kröfum um hitastig og rakastig í vinnslu.
Almennt séð eru kröfur um hitasveiflur sífellt að minnka vegna aukinnar nákvæmni í vinnslu. Til dæmis, í litografíu og útsetningarferli stórfelldra samþættra hringrásarframleiðslu, er munurinn á varmaþenslustuðli milli gler- og kísilþynnu sem notuð eru sem grímuefni sífellt að minnka.
Kísilplata með þvermál 100 μm veldur línulegri útþenslu upp á 0,24 μm þegar hitastigið hækkar um 1 gráðu. Þess vegna er nauðsynlegt að halda hitastiginu stöðugu upp á ± 0,1 ℃ og rakastigið er almennt lágt því varan mengast eftir svita, sérstaklega í hálfleiðaraverkstæðum þar sem natríum er óttast. Hitastig í slíkum verkstæðum ætti ekki að fara yfir 25 ℃.
Of mikill raki veldur fleiri vandamálum. Þegar rakastigið fer yfir 55% myndast þétting á veggjum kælivatnsrörsins. Ef það gerist í nákvæmnistækjum eða rafrásum getur það valdið ýmsum slysum. Þegar rakastigið er 50% ryðgar það auðveldlega. Að auki, þegar rakastigið er of hátt, mun ryk sem festist við yfirborð kísillplötunnar efnafræðilega aðsogast á yfirborðið í gegnum vatnssameindir í loftinu, sem er erfitt að fjarlægja.
Því hærri sem rakastigið er, því erfiðara er að fjarlægja viðloðunina. Hins vegar, þegar rakastigið er undir 30%, festast agnir auðveldlega á yfirborðinu vegna áhrifa rafstöðuafls og fjöldi hálfleiðara er viðkvæmur fyrir bilun. Kjörhitastigið fyrir framleiðslu á kísilplötum er 35-45%.
Loftþrýstingurstjórní hreinu herbergi
Í flestum hreinum rýmum er nauðsynlegt að viðhalda innri þrýstingi (stöðuþrýstingi) hærri en ytri þrýstingi (stöðuþrýstingi) til að koma í veg fyrir að utanaðkomandi mengun komist inn. Viðhald þrýstingsmismunar ætti almennt að vera í samræmi við eftirfarandi meginreglur:
1. Þrýstingurinn í hreinum rýmum ætti að vera hærri en í óhreinum rýmum.
2. Þrýstingurinn í rýmum með hátt hreinlætisstig ætti að vera hærri en í aðliggjandi rýmum með lágt hreinlætisstig.
3. Hurðirnar á milli hreinrýma ættu að vera opnaðar að herbergjum þar sem hreinlætisstaðan er mikil.
Viðhald þrýstingsmismunar fer eftir magni fersks lofts, sem ætti að geta bætt upp fyrir loftleka úr bilinu undir þessum þrýstingsmismun. Þannig er eðlisfræðileg merking þrýstingsmismunar viðnám gegn leka (eða síun) loftflæðis í gegnum ýmsar bilanir í hreinum rýmum.
Birtingartími: 21. júlí 2023